КИНЕТИКА РОСТА И ПЛАЗМЕННОЙ ДЕСТРУКЦИИ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ В МЕТАНЕстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Баринов С. М., Ефремов А. М. КИНЕТИКА РОСТА И ПЛАЗМЕННОЙ ДЕСТРУКЦИИ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДАЕМЫХ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ В МЕТАНЕ // Микроэлектроника. — 2016. — Т. 45. — С. 98–104.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть