Аннотация:Исследовано влияние D2-N2 плазмы тлеющего разряда на отражательную способность монокристаллических зеркал Мо(111). Поверхность каждого зеркала готовилась механической полировкой алмазными пастами до шероховатости hq = 5 нм. Экспозиция до флюенса ионов 1.4x1024 м-2 приводила к увеличению hq = 9 нм.Коэффициент полного отражения Rt в области 4001000 нм увеличивался на 5-10%, что может быть вызвано преимущественным удалением углерода в процессе ионного распыления.
Effect of D2-N2 plasma on reflectivity of Mo(111) mirrors was studied. The mirror surface was prepared by mechanical polishing with diamond paste that provided the roughness parameter hq about 5 nm. Plasma exposure up to a fluence of 1.4x1024 ion m-2 increases hq to 9 nm. The total reflectance in the range 400–1000 nm increases by 5-10% that might be explained by preferential removal of carbon impurities under ion sputtering.