Аннотация:В данной работе описывается методика изготовления системы планарных электродов с зазором порядка 10 нм и менее с помощью электрохимического «заращивания» зазоров 50-100 нм в электродах-заготовках. Методика основывается на полном заращивании зазора и последующем образовании разрыва в области смыкания электродов вследствие релаксации напряжения, возникшего при осаждении пленки.