Аннотация:Бинарные межатомные потенциалы F-F, F-Si, F-O, F-C и F-H рассчитаны из первых принципов ( ab initio) на основе многоконфигурационного метода самосогласованного поля (CAS-SCF) с базисным набором атомных волновых функций aug-pp-AV6Z и использованы для расчета сдвигов фаз и сечений упругого рассеяния атомов в диапазоне относительных кинетических энергий 2-200 eV. Ожидается, что полученные сечения упругого рассеяния будут полезны для описания распыления и травления пористых органосиликатных пленок с этиленовыми мостиками, используемых в современной наноэлектронике. Ключевые слова: распыление, травление, фтор, органосиликатные стекла.