Изменение морфологии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2статья

Работа с статьей


[1] Изменение морфологии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси d2/n2 / А. Е. Городецкий, В. Л. Буховец, А. В. Маркин и др. // Взаимодействие плазмы с поверхностью. Материалы XXII конференции. 23-24 января 2019 г. — НИЯУ МИФИ НИЯУ МИФИ Москва, 2019. — С. 43–46.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть