Экспериментальное изучение параметров плазмы гибридного ВЧ-разряда низкого давлениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Экспериментально изучаются параметры плазмы гибридного ВЧ-разряда, который является новой модификацией ВЧ-разряда. Разряд поддерживается как вихревым, так и потенциальным ВЧ-электрическими полями. Для организации гибридного ВЧ-разряда в настоящей работе используется узел ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных индуктора и обкладок конденсатора. В емкостной канал разряда включена разделительная емкость. В работе представлены данные, полученные при изучении влияния величины мощности, поступающей в плазму, давления аргона и величины разделительной емкости на параметры плазмы разряда, такие как энергетическое распределение, температура и концентрация электронов, потенциал плазмы. Рассмотрена роль емкостного канала в изменении свойств и параметров разряда.