Исследование влияния лазерного отжига на структуру приповерхностных слоев ионно-имплантированного кремния методом рентгеновской дифрактометриистатья

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 26 ноября 2012 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст FTT_1993-352-s355_-_Issledovanie_vliyaniya_lazernogo_otzhig… 1,1 МБ 23 мая 2014 [bushuevVA]