Plasma Interaction with Boundary Surfaces in Low-Pressure Radio-Frequency Capacitive Dischagreстатья

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 15 апреля 2020 г.