Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressuresтезисы доклада

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Работа с тезисами доклада


[1] Experimental study of dual frequency rf discharge in argon for different gas pressures / O. V. Braginsky, A. S. Kovalev, D. V. Lopaev et al. // Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts. — ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic, 2007. — P. 2114–2117. Experimental measurements of plasma parameters in dual frequency (DF) capacitively coupled Ar discharge were performed for gas pressure of 20, 45 and 100 mTorr and frequency relations 1.76 MHz – 81 MHz and 13.56 MHz – 81 MHz. Results on the electron concentration as a function of low-frequency source power for a fixed power of high-frequency source are presented. On the base of these results gas pressure range for the so-called “frequency decoupling” is obtained. Effect of non-additive electron density increasing and power redistribution in DF discharges is discussed.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть