Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Periodтезисы доклада

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Работа с тезисами доклада


[1] Evolution of electron temperature and density distributions in the inter-electrode gap of df ccp discharge during the rf period / O. V. Braginsky, A. S. Kovalev, D. V. Lopaev et al. // Workshop on Radio-Frequency Discharges. — All Hallows College, Dublin, Ireland, 2007. — P. 28.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть