|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Физические принципы разработки ВЧ-индуктивных источников плазмы низкого давлениястатья
- Авторы: Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Плаксин В.Ю., Рухадзе А.А.
- Журнал: Наукоемкие технологии
- Том: 6
- Номер: 1
- Год издания: 2005
- Издательство: Издательство "Радиотехника"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 5
- Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна