Production and Loss of CF2 and CF Radicals at the Polymerization in CF4 Plasmaстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Работа с статьей


[1] Production and loss of cf2 and cf radicals at the polymerization in cf4 plasma / V. V. Ivanov, K. S. Klopovskiy, D. V. Lopaev et al. // Proceedings of SPIE: Selected research papers on “Spectroscopy of Non-equilibrium Plasma at Elevated Pressures” ed. by Vladimir N. Ochkin. — Vol. 4460. — 2002. — P. 74–89. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть