Reaction mechanism of N atoms interaction with low-k organosilicate glass films: Dynamic DFT studyстатья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 ноября 2019 г.

Работа с статьей


[1] Reaction mechanism of n atoms interaction with low-k organosilicate glass films: Dynamic dft study / E. N. Voronina, Y. A. Mankelevich, T. V. Rakhimova, D. V. Lopaev // Journal of Vacuum Science and Technology A. — 2019. — Vol. 37. — P. 061304. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть