Characterization of carbon contamination under ion and hot atom bombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light sourceстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 октября 2019 г.

Работа с статьей


[1] Characterization of carbon contamination under ion and hot atom bombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light source / A. Dolgov, D. Lopaev, C. J. Lee et al. // Applied Surface Science. — 2015. — Vol. 353. — P. 708–713. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть