Получение алмазоподобных пленок в процессе магнетронного распылениястатья

Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Получение алмазоподобных пленок в процессе магнетронного распыления / А. В. Костановский, Л. А. Жиляков, А. А. Пронкин, А. В. Кириллин // Теплофизика высоких температур, High Temperature. — 2009. — Т. 46, № 1. — С. 141–144.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть