Низкотемпературная кристаллизация германия в тонкопленочной системе Ge/Alстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 декабря 2019 г.
Аннотация:Проведены исследования кристаллизации тонких пленок германия при вакуумном термическом осаждении на поверхность алюминия. Методами атомно-силовой микроскопии и рентгеновской дифракции показаны значительные изменения морфологии и кристаллической структуры пленок в зависимости от температуры формирования. Определены температурные диапазоны роста аморфных и поликристаллических пленок германия. Показано, что понижение температуры кристаллизации германия до 300°С связано с размерным эффектом и объясняется в рамках модели металл-индуцированной кристаллизации.