|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В АРГОНЕ С УЧЕТОМ ПРОТОКА И НЕОДНОРОДНОСТИ ТЕМПЕРАТУРЫ ГАЗАстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКДата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 декабря 2019 г.
- Авторы: Кропоткин А.Н., Волошин Д.Г.
- Журнал: Физика плазмы
- Том: 45
- Номер: 8
- Год издания: 2019
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 755
- Последняя страница: 768
- DOI: 10.1134/S0367292119070060
- Аннотация: С целью развития методов контроля параметров низкотемпературной неравновесной плазмы разработана численная модель индукционного высокочастотного разряда в аргоне в диффузионно-дрейфовом приближении и проведено теоретическое исследование транспорта ионов на поверхность обрабатываемого материала. Построенная модель была протестирована на имеющихся экспериментальных и теоретических данных. Расчеты проводились для индукционного разряда в аргоне с характерными для современных реакторов параметрами: частота 13.56 МГц при давлении в камере 10 мТорр. Модель использовалась для определения плотности плазмы, температуры электронов и потока ионов на обрабатываемый материал. Получены данные о температуре газа в зависимости от вложенной мощности и о параметрах разряда в зависимости от протока газа.
- Добавил в систему: Волошин Дмитрий Григорьевич