МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В АРГОНЕ С УЧЕТОМ ПРОТОКА И НЕОДНОРОДНОСТИ ТЕМПЕРАТУРЫ ГАЗАстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 декабря 2019 г.

Работа с статьей


[1] Кропоткин А. Н., Волошин Д. Г. МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В АРГОНЕ С УЧЕТОМ ПРОТОКА И НЕОДНОРОДНОСТИ ТЕМПЕРАТУРЫ ГАЗА // Физика плазмы. — 2019. — Т. 45, № 8. — С. 755–768. С целью развития методов контроля параметров низкотемпературной неравновесной плазмы разработана численная модель индукционного высокочастотного разряда в аргоне в диффузионно-дрейфовом приближении и проведено теоретическое исследование транспорта ионов на поверхность обрабатываемого материала. Построенная модель была протестирована на имеющихся экспериментальных и теоретических данных. Расчеты проводились для индукционного разряда в аргоне с характерными для современных реакторов параметрами: частота 13.56 МГц при давлении в камере 10 мТорр. Модель использовалась для определения плотности плазмы, температуры электронов и потока ионов на обрабатываемый материал. Получены данные о температуре газа в зависимости от вложенной мощности и о параметрах разряда в зависимости от протока газа. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть