"Изменение морфологии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2"статья

Работа с статьей


[1] "Изменение морфологии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси d2/n2" / А. Е. Городецкий, В. Л. Буховец, А. В. Маркин и др. // Взатмодействие плазмы с поверхностью. — Материалы XXII конференции. — Москва: Москва, 2019. — С. 43–46. При экспозиции кварцевого окна в С-ПТ-ВЧ разряде дейтерия или в смеси дейтерий 25 мольн.% азота шероховатость поверхности оставалась на уровне 1 нм при удалении слоя кварца 1200 нм. Скорость распыления кварца увеличивалась с 34 нм/час до 300 нм/час при добавлении к плазме дейтерия 25 мольн.% азота. В обеих плазменных смесях отсутствовали следы восстановления поверхностных слоев кварца до субоксидов или кремния. Светопропускание окна оставалось неизменным и равным 93% в интервале длин волн 400-1000 нм.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть