|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
"Изменение морфологии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2"статья
- Авторы: Городецкий А.Е., Буховец В.Л., Маркин А.В., Золотаревский В.И., Залавутдинов Р.Х., Захаров А.П., Войтицкий В.Л., Дмитриев А.М., Раздобарин А.Г., Мухин Е.Е.
- Сборник: Взатмодействие плазмы с поверхностью
- Серия: Материалы XXII конференции
- Год издания: 2019
- Издательство: НИЯУ МИФИ
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 43
- Последняя страница: 46
- Аннотация: При экспозиции кварцевого окна в С-ПТ-ВЧ разряде дейтерия или в смеси дейтерий 25 мольн.% азота шероховатость поверхности оставалась на уровне 1 нм при удалении слоя кварца 1200 нм. Скорость распыления кварца увеличивалась с 34 нм/час до 300 нм/час при добавлении к плазме дейтерия 25 мольн.% азота. В обеих плазменных смесях отсутствовали следы восстановления поверхностных слоев кварца до субоксидов или кремния. Светопропускание окна оставалось неизменным и равным 93% в интервале длин волн 400-1000 нм.
- Добавил в систему: Городецкий Александр Ефимович