|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Linear Thermal Expansion Coefficient (at Temperatures from 130 to 800 K) of Borosilicate Glasses Suitable for Silicon Compounds in Microelectronicsстатья Перевод
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 июня 2016 г.
- Авторы: Sinev Leonid Stanislavovich, Petrov Ivan Dmitrievich
- Журнал: Glass and Ceramics (English translation of Steklo i Keramika)
- Том: 73
- Номер: 1
- Год издания: 2016
- Издательство: Springer Nature
- Местоположение издательства: Switzerland
- Первая страница: 32
- Последняя страница: 35
- DOI: 10.1007/s10717-016-9820-0
- Аннотация: The measurements of the CLTE and relative elongation of two types of borosilicate glasses — LK5 and Borofloat 33 — are analyzed. A TMA7100 thermomechanical analyzer is used to measure the elongation of glass samples at temperatures from 130 to 800 K (-143 to +526°C). The relative error of indirect measurements of the CLTE and the relative thermal elongation of both types of glasses did not exceed ±5 and ±3%, respectively. Polynomial equations for obtaining fits to the measurements as a function of the temperature are presented. The results will facilitate the modeling of the characteristics of the devices which are used in microsystems engineering and fabricated by anodic deposition of silicon on glass; they can also be used to optimize the temperature regime of silicon bonding with glass.
- Добавил в систему: Синев Леонид Станиславович