Синтез эпитаксиальных пленок SiC вакуумной конденсацией углерода на кремнийстатья

Работа с статьей


[1] Синтез эпитаксиальных пленок sic вакуумной конденсацией углерода на кремний / Е. К. Белоногов, В. М. Иевлев, С. Б. Кущев и др. // Физико-химические процессы в конденсированных средах и на межфазных границах. — 2010. — С. 269–274.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть