|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Очистка поверхности кремневых пластин от фоторезиста в производстве интегральных схемтезисы доклада
- Авторы: Колесник В.В., Сотников В.С., Ткаченко С.Н., Попович М.П.
- Сборник: Тезисы докладов 2-ой Всесоюзной конференции «Озон. Получение и применение»
- Тезисы
- Год издания: 1991
- Место издания: Москва, МГУ
- Добавил в систему: Ткаченко Сергей Николаевич