|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF dischargesстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Ivanov Vladimir V., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Mankelevich Yuri A., Olevanov Michael A., Proshina Olga V., Rakhimov Alexander T., Vasilieva Anna N., Voloshin Dmitry G.
- Журнал: IEEE Transactions on Plasma Science
- Том: 35
- Номер: 5
- Год издания: 2007
- Издательство: Institute of Electrical and Electronics Engineers
- Местоположение издательства: Piscataway, NJ, United States
- Первая страница: 1229
- Последняя страница: 1240
- DOI: 10.1109/TPS.2007.905201
- Аннотация: Ion energy distribution functions (IEDFs) at the electrodes in single frequency (SF) and dual frequency (DF) radiofrequency discharges in Ar at pressures of 20 and 45 mtorr are measured and calculated. A numerical simulation of the IEDF on the base of a self-consistent particle-in-cell model with Monte Carlo collisions was performed. In addition, a semianalytical model was developed to calculate the IEDF in collisionless and collisional SF and DF plasmas.. The IEDF width for the intermediate frequency case was determined from both experimental and theoretical results. The possibility of frequency decoupling is discussed.
- Добавил в систему: Манкелевич Юрий Александрович