Two-dimensional simulation of a hot-filament chemical vapor deposition reactorстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.

Работа с статьей


[1] Mankelevich Y. A., Rakhimov A. T., Suetin N. V. Two-dimensional simulation of a hot-filament chemical vapor deposition reactor // Diamond and Related Materials. — 1996. — Vol. 5, no. 9. — P. 888–894. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть