|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Фотолитография без маски и расчет изображений, даваемых пространственным модулятором света на MEMOS-структурестатья Электронная публикация
- Авторы: Белокопытов Г.В., Рыжикова Ю.В.
- Сборник: Труды научной конф.: XI Всероссийской школы семинара «Волновые явления в неоднородных средах»
- Серия: Часть 4. Когерентная и нелинейная оптика. Фотоника
- Год издания: 2008
- Место издания: МГУ
- Первая страница: 11
- Последняя страница: 13
- Аннотация: В настоящей работе рассматривается задача о нахождении распределения поля волны, отраженной от поворотных зеркал пространственного модулятора света в скалярном приближении теории дифракции.
- Добавил в систему: Белокопытов Геннадий Васильевич