|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Сравнение характеристик изображения в проекционной фотолитографиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 2 сентября 2016 г.
- Авторы: Белокопытов Г.В., Рыжикова Ю.В.
- Журнал: Известия Российской академии наук. Серия физическая
- Том: 72
- Номер: 1
- Год издания: 2008
- Первая страница: 88
- Последняя страница: 91
- Аннотация: Путём численного моделирования произведено сравнение характеристик изображений, создаваемых некоторыми типичными фотошаблонами. Рассмотрена методика оценки критических размеров элементов изображения. Изучены зависимости критических размеров от численной апертуры и параметра когерентности для источника освещения с круговой апертурой и различных типов используемых масок.
- Добавил в систему: Белокопытов Геннадий Васильевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | art__2008.pdf | 192,8 КБ | 7 февраля 2020 [Ryzhikova] |