Сравнение характеристик изображения в проекционной фотолитографиистатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 2 сентября 2016 г.

Работа с статьей


[1] Белокопытов Г. В., Рыжикова Ю. В. Сравнение характеристик изображения в проекционной фотолитографии // Известия Российской академии наук. Серия физическая. — 2008. — Т. 72, № 1. — С. 88–91. Путём численного моделирования произведено сравнение характеристик изображений, создаваемых некоторыми типичными фотошаблонами. Рассмотрена методика оценки критических размеров элементов изображения. Изучены зависимости критических размеров от численной апертуры и параметра когерентности для источника освещения с круговой апертурой и различных типов используемых масок.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть