Фазово-растровые маски и их синтезстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст Belokopytov_2007.pdf 445,3 КБ 16 ноября 2012 [Ryzhikova]

[1] Белокопытов Г. В., Короткова Ю. В. Фазово-растровые маски и их синтез // Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия. — 2007. — № 3. — С. 44–48. Рассмотрен подход к созданию голограмм и масок для оптической литографии, основанный на дискретизации изображения и разложении отсчетов на три фазовые составляющие, заданные на специальном растре. Исследованы условия эквивалентности непрерывного и растрового задания функции пропускания. Проведено численное моделирование формирования изображений с помощью синтезированных фазово-растровых масок. Показано, что для них выполняется свойство локальности – отсчет функции пропускания в данной точке маски определяется положением ближайшего отверстия в растре.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть