Влияние условий осаждения на состав танталовых покрытийстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 3 июля 2019 г.
Аннотация:В данной работе был проведен анализ покрытий из тантала, полученных методом химического газофазного осаждения в реакторах с «горячими» и с «холодными» стенками. Для ограничения зоны взаимодействия в реакционной камере, использовали экран в виде трубки, внутри которого располагался держатель с образцом. Экран изготавливали из разных материалов — кварцевое стекло и нержавеющая сталь. Для нагрева подложек в реакторе использовался индукционный нагрев, катушка индуктора была расположена с внешней стороны экрана. В случае применения экрана из кварцевого стекла нагревался только держатель с образцом, что соответствовало реактору с «холодными» стенками. При использовании экрана из нержавеющей стали, образец нагревался за счет теплопередачи от стенок экрана, то есть реализовался вариант реактора с «горячими» стенками. Было проведено осаждение тантала на вольфрамовые подложки восстановлением бромида тантала парами кадмия. Выяснено, что в процессе получения покрытий из-за эффекта эжекции возможно образование обратных течений, содержащих непрореагировавшие реагенты и продукты реакции. В результате, при использовании реактора с «горячими» стенками часть ре-агентов взаимодействует с поверхностью экрана из нержавеющей стали, что приводит к образованию Fe2Br4 и CrBr2, и последующему восстановлению на подложке не только бромида тантала, но и бромида железа. Таким образом, при осаждении в реакторе с «холодными» стенками на образце формируется танталовое покрытие, а при использовании реактора с «горячими» стенками — покрытие, состоящее из смеси Ta + Fe2Ta.