Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:В связи с имеющей место тенденцией непрерывного уменьшения размеров структур, применяемых в современных технологических изделиях, высокую актуальность приобретает разработка эффективных методов их диагностики и контроля. Среди них важное место занимают традиционные оптические методы, так как они одни из наиболее развитых к настоящему времени, бесконтактны, высокопроизводительны и допускают применение непосредственно в технологических линиях. Одной из актуальных задач современной микроскопии является прецизионное измерение геометрических параметров микроскопических объектов. В частности, контроль наноотклонений размеров технологических наноструктур от номинала, взаимного расположения элементов различных элементов микроскопического масштаба, их малых смещений относительно друг друга представляет собой отдельную самостоятельную задачу, играющую важную роль в современных производствах высокотехнологичных изделий. При этом величины измеряемых дефектов зачастую составляет единицы нанометров, что многократно превышает как рэлеевский дифракционный предел разрешающей способности оптических приборов, так и номинальное разрешение матричных фотоприемников современных микроскопов в пересчете на масштабы в пространстве измеряемых объектов. Указанные обстоятельства заставляют обращаться к новым методам формирования и обработки изображений, получаемых оптическими микроскопами.
В работе обсуждаются новые методы формирования и обработки оптических микроскопических изображений. Предложен новый метод синтеза изображения на основе фазы световой волны, зарегистрированной при измерении. Проведено численное моделирование и сравнительный анализ различных методов. Показаны преимущества нового метода по сравнению с предложенными ранее.