Изменение морфологиии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2тезисы доклада
-
Авторы:
Городецкий А.Е.,
Буховец В.Л.,
Маркин А.В.,
Золотаревский В.И.,
Залавутдинов Р.Х.,
Захаров А.П.,
Войтицкий В.Л.,
Дмитриев А.М.,
Раздобарин А.Г.,
Мухин Е.Е.
-
Сборник:
Материалы XXII конференции "Взаимодействие плазмы с поверхностью". Москва, НИЯУ МИФИ, 23-24 января 2019 г
-
Тезисы
-
Год издания:
2019
-
Место издания:
Типография НИЯУ МИФИ Москва
-
Первая страница:
43
-
Последняя страница:
46
-
Добавил в систему:
Буховец Валентин Леонидович