Изменение морфологиии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2тезисы доклада

Работа с тезисами доклада


[1] Изменение морфологиии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси d2/n2 / А. Е. Городецкий, В. Л. Буховец, А. В. Маркин и др. // Материалы XXII конференции "Взаимодействие плазмы с поверхностью". Москва, НИЯУ МИФИ, 23-24 января 2019 г. — Типография НИЯУ МИФИ Москва, 2019. — С. 43–46.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть