|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Перспективная конструкция кольцевого планарного магнетрона для нанесения тонкопленочных покрытий вакуумным испарениемтезисы доклада
- Авторы: Домбрачев А.Н., Коршунов А.И., Дресвянников Д.Г.
- Сборник: От наноструктур, наноматериалов и нанотехнологий к наноиндустрии: тезисы докладов Шестой международной конференции (Россия, Ижевск, 4-6 апреля 2017 г.)
- Тезисы
- Год издания: 2017
- Место издания: Изд-во ИжГТУ имени М. Т. Калашникова Ижевск
- Первая страница: 183
- Последняя страница: 185
- Добавил в систему: Коршунов Александр Иванович