Sputtering of W and Al in D2/O2 plasma cleaning dischargeстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 января 2019 г.

Работа с статьей


[1] Sputtering of w and al in d2/o2 plasma cleaning discharge / V. L. Bukhovets, A. E. Gorodetsky, R. K. Zalavutdinov et al. // Journal of Nuclear Materials. — 2015. — Vol. 463. — P. 255–257.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть