Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировкистатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 ноября 2019 г.

Работа с статьей


[1] Канаев А. А., Городецкий А. Е. Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки // Стекло и керамика. — 2014. — № 5. — С. 29–32.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть