Имплантация малых кластеров алюминия в монокристаллический кремнийтезисы доклада

Работа с тезисами доклада


[1] Имплантация малых кластеров алюминия в монокристаллический кремний / X. M. Zeng, А. В. Данилов, В. О. Пеленович и др. // Физические и физико-химические основы ионной имплантации: Тезисы докладов VII Всероссийской конференции молодых ученых и специалистов (Нижний Новгород, 7-9 ноября 2018 г.). — Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского Н. Новгород, 2018. — С. 133–133.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть