Аннотация:Исследовались процессы образования и релаксации фотоиндуцированных метастабильных состояний в a-Si:H при повышенных температурах. Немонотонная кинетика фотоиндуцированных структурных изменений и релаксации при повышенных температурах указывает на сосуществование двух процессов, один из которых соответствует созданию оборванных связей кремния, другой же имеет аномальные характеристики. Предложена феноменологическая модель, которая описывает аномальные процессы.