|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Угловое распределение атомов при магнетронном распылении поликристаллических мишенейстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Мартыненко Ю.В., Рогов А.В., Шульга В.И.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 82
- Год издания: 2012
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 13
- Последняя страница: 18
- Добавил в систему: Шульга Владимир Иванович