One more mechanism leading to the gysteresis of the RF inductive discharge transition from low to high density mode

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

One more mechanism leading to the gysteresis of the RF inductive discharge transition from low to high density modeтезисы доклада

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 мая 2016 г.

Авторы: Alexandrov A.F., Kralkina E.A., Pavlov V.B., Rukhadze A.A., Savinov V.P., Vavili K.V.
Сборник: Proc. of the ICPIG-XXVIII
Тезисы
Год издания: 2007
Место издания: Prague, Czech Republ
Первая страница: 240
Последняя страница: 243
Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович