|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Увеличение быстродействия струйных систем управления путем прототипирования их элементов в полидиметилсилоксане методом «мягкой литографии»статья
- Авторы: Букатин А.С., Дудников Д.А., Мухин И.С., Малышев Е.И., Кухтевич И.В., Евстрапов А.А., Дубина М.В.
- Журнал: Автоматизация в промышленности
- Том: 1
- Номер: 6
- Год издания: 2016
- Первая страница: 55
- Последняя страница: 58
- Аннотация: Технологии и методы прототипирования микрофлюидных устройств находят широкое применение при решении многих задач управления в технике, медицине и проверке функциональной работоспособности новых микроаналитических систем управления. Рассмотрены особенности формирования микроструктур в фоторезисте SU-8 и создания реплик элементов струйных систем управления в полидиметилсилоксане методом «мягкой» литографии. Показано, что соотношение между шириной и высотой получаемых микроструктур определяется их формой, размерами, силой адгезии резиста к кремниевой подложке и эффективностью циркуляции проявителя вокруг микроструктур. Обсуждаемая технология использована при изготовлении микрофлюидных чипов струйных резервных разнородных систем управления, содержащих основной электронный канал и резервный канал на базе элементов струйной техники.
- Добавил в систему: Дудников Дмитрий Александрович