Аннотация:Наблюдалась немонотонная кинетика структурных изменений в пленках a-Si:H при температурах выше 100С. Это указывает на сосуществование двух процессов, которые описываются растянутыми экспонентами. Быстрый процесс определяется созданиемо борванными связями кремния. Медленный процесс имеет аномальные характеристики. Для описания аномальных процессов использовалась феноменологическая модель, основанная на трехуровневой конфигурационной диаграмме с коррелированными энергиями активации для создания и отжига фотоиндуцированного метастабильного состояния.