ТЕРМОДЕСОРБЦИЯ ГЕЛИЯ ИЗ СКРЫТЫХ ПОР В КРЕМНИИ, СФОРМИРОВАННЫХ С ПОМОЩЬЮ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] ТЕРМОДЕСОРБЦИЯ ГЕЛИЯ ИЗ СКРЫТЫХ ПОР В КРЕМНИИ, СФОРМИРОВАННЫХ С ПОМОЩЬЮ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ / A. С. Патракеев, A. van_Veen, H. Schut, H. Г. Чеченин // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2006. — № 5. — С. 48–50. Исследуется формирование скрытых полостей в кремнии при имплантации ионов Не+ и поглощение газа порами при высоких температурах и давлениях. Показано, что поглощение происходит в порах, а не в матрице образцов. На основе процессов поглощения и термодесорбции предлагается метод определения абсолютного объема скрытых полостей в материалах.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть