Формирование стержнеобразных ориентированных преципитатов силицида никеля при магнетронном напылении углерода и никеля на кремнийстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Формирование стержнеобразных ориентированных преципитатов силицида никеля при магнетронном напылении углерода и никеля на кремний / П. Н. Черных, Н. Г. Чеченин, И. А. Сергачев, М. А. Тимофеев // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2011. — № 1. — С. 71–75. Обнаружено формирование стержнеобразных структур при совместном магнетронном осаждении углерода и никеля на подложку Si(100) с естественным слоем оксида, ориентированных вдоль направлений 100 и 010 кристалла кремния. Осаждение в аналогичных условиях на кремниевую подложку с ориентацией (111) не приводило к формированию стержнеообразных структур. Исследования показали, что стержнеобразные структуры представляют собой эпитаксиальные преципитаты силицида никеля. Представлены результаты экспериментального исследования состава, структуры и формы образующихся кластеров силицидов в зависимости от ориентации подложки кремния и толщины соосаждаемого слоя.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть