Стабильность изображения прямоугольных фазовых масок в оптической литографиистатья

Работа с статьей

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. text.pdf text.pdf 255,6 КБ 31 июля 2016 [Ryzhikova]

[1] Белокопытов Г. В., Рыжикова Ю. В. Стабильность изображения прямоугольных фазовых масок в оптической литографии // Труды IX Международной конференции Прикладная оптика-2010. — Т. 2. — Санкт-Петербург Санкт-Петербург, 2010. — С. 300–304.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть