Спектральная методика расчета и коррекции изображений бинарных масок в фотолитографиистатья

Работа с статьей


[1] Поройкова А. А., Рыжикова Ю. В. Спектральная методика расчета и коррекции изображений бинарных масок в фотолитографии // Труды VI Международной конференции молодых ученых и специалистов Оптика-2009. — СПб: СпбГУ ИТМО Санкт-Петербург, 2009. — С. 213–216.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть