|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Построение фазово-растровых масок для фотолитографиитезисы доклада
- Авторы: Белокопытов Г.В., Короткова Ю.В.
- Сборник: Тезисы VIII Международной конференции Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы
- Тезисы
- Год издания: 2006
- Место издания: Ульяновский государственный университет Ульяновск
- Первая страница: 52
- Последняя страница: 52
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна