Дифракция Фраунгофера на многоугольнике и расчет изображений бинарных масокстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст Ryzhikova_text.pdf 245,1 КБ 14 июня 2015 [Рыжикова Ю.В.]

[1] Белокопытов Г. В., Рыжикова Ю. В. Дифракция Фраунгофера на многоугольнике и расчет изображений бинарных масок // Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия. — 2009. — № 2. — С. 41–43. Получена простая аналитическая формула для спектра пространственных гармоник дифрагированного поля. Показано, каким образом с ее помощью можно построить эффективный алгоритм расчета изображения в фотолитографии.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть