Фотолитография без маски и расчет изображений, даваемых пространственным модулятором света на MEMOS-структурестатья

Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Белокопытов Г. В., Рыжикова Ю. В. Фотолитография без маски и расчет изображений, даваемых пространственным модулятором света на memos-структуре // Динамика сложных систем. — 2008. — № 2. — С. 24–27. Рассмотрена задача о нахождении распределения поля волны, отраженной от поворотного микрозеркала в скалярном приближении теории дифракции при частично-когерентном освещении. Получены удобные соотношения для реализации алгоритма расчета оптических изображений в литографической системе без масок. Приведен простой пример численного моделирования расчета изображения двух поворотных микрозеркал.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть