Фотолитография без маски и расчет изображений, даваемых пространственным модулятором света на MEMOS-структуре

Авторы: Белокопытов Г.В., Рыжикова Ю.В.
Журнал: Динамика сложных систем
Номер: 2
Год издания: 2008
Издательство: Издательство "Радиотехника"
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 24
Последняя страница: 27
Аннотация: Рассмотрена задача о нахождении распределения поля волны, отраженной от поворотного микрозеркала в скалярном приближении теории дифракции при частично-когерентном освещении. Получены удобные соотношения для реализации алгоритма расчета оптических изображений в литографической системе без масок. Приведен простой пример численного моделирования расчета изображения двух поворотных микрозеркал.
Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА