|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Экспериментальное исследование состава газовой фазы при получении нитрида кремния методом СВСстатья
- Авторы: Баринов Ю.Н., Чемагина Е.А., Никитин М.И., Иванов В.А.
- Сборник: «Современные методы и технологии создания и обработки материалов.» VII Международная научно-практическая конференция. Сборник материалов
- Том: 1
- Год издания: 2012
- Место издания: ФТИ НАН Беларуси Минск
- Первая страница: 33
- Последняя страница: 37
- Добавил в систему: Иванов Владимир Александрович