Аннотация:Предложена модель, описывающая влияние наночастиц на атомистическую структуру напыля-
емых тонких пленок. Модель основана на развитом ранее методе молекулярно-динамического
моделирования процесса напыления тонких оптических покрытий и применена к пленкам диок-
сида кремния. Наночастица предполагается неподвижной, ее взаимодействие с атомами описы-
вается сферически симметричным потенциалом. Структура пленки вблизи наночастицы иссле-
дуется с помощью радиальных функций распределения. Показано, что поведение этих функций
около наночастицы существенно отличается для случаев высокоэнергетического и низкоэнер-
гетического напыления.