Аннотация:Установлено, что в результате освещения закаленных пленок a-Si:H, легированных фосфором, изменяются параметры растянутой экспоненты, описывающей кинетику изотермической релаксации термоиндуцированных метастабильных состояний. Это указывает на наличие фотоиндуцированного отжига, который не только уменьшает концентрацию метастабильных термоиндуцированных состояний, но и изменяет их распределение по временам релаксации, уменьшая эффективное время релаксации ансамбля.