ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА С ЧАСТОТОЙ ~200 КГЦ НА СВОЙСТВА ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ МЕТАНА АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОКстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА С ЧАСТОТОЙ ∼200 КГЦ НА СВОЙСТВА ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ МЕТАНА АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК / И. Г. Варшавская, В. Л. Буховец, Н. Рави, Г. Сундарараджан // Материаловедение. — 2004. — № 9. — С. 19–23.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть